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電子工業超純水處理設備工藝及使用注意事項

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電子工業超純水處理設備工藝及使用注意事項

發布日期:2018-09-30 作者: 點擊:

高純水又名超純水,是指化學純度極高的水,其主要應用在生物、化學化工、冶金、宇航、電力等領域,但其對水質純度要求相當高,所以一般應用普遍的還是電子行業。

超純水處理設備工藝概述

1在超純水處理設備的生產過程中,水中的陰陽離子可用電滲析法、反滲透法及離子交換技術等去除,水中的顆粒一般可用超過濾、膜過濾等技術去除;

2水中的細菌,目前國內多采用加藥或紫外燈照射或臭氧殺菌的方法去除;

3水中的TOC則一般用活性炭、反滲透處理。在高純水的應用領域中,水的純度直接關系到器件的性能、可靠性,因此高純水要求具有相當高的純度和精度。

超純水處理設備的使用

1離子交換混床是通過離子交換樹脂在電解質溶液中進行的,可去除水中的各種陰、陽離子,是目前制備超純水工藝流程中不可替代的手段。離子交換器分為陽離子交換器、陰離子交換器等。當原水通過離子交換柱時,水中的陽離子和水中的陰離子(HCO3-等離子)與交換柱中的陽樹脂的H+離子和陰樹脂的OH-離子進行交換,從而達到脫鹽的目的。陽、陰混柱的不同組合可使水質達到更高的要求,生產出達到更高標準的超純水。

2離子交換法是目前國內外制水行業普遍采用的較為理想的方法,也是經濟有效的化學法之一,離子交換是一種利用陰陽交換樹脂對離子的選擇性及平衡反應原理,去除水中電解質離子的技術。是一套完整成熟的制水工藝,現廣泛為廣大用戶認可。

再生活化原理:當設備運行一段時間,樹脂失效,此時需再生,使其恢復交換能力。

注意事項

1操作人員應具備純水設備基礎知識,掌握操作規程;2本設備嚴禁超壓負荷工作。3電機應定期檢查。4長期閑置不用,應定期攪動,以免樹脂發霉。

制備工藝

1采用離子交換樹脂制備超純水的傳統水處理方式,其基本工藝流程為:原水→沙炭過濾器→精密過濾器→原水箱→陽床→陰床→混床(復床)→純水箱→純水泵→后置精密過濾器→用水點。

2采用反滲透水處理設備與離子交換設備進行組合的方式,其基本工藝流程為:原水→沙炭過濾器→精密過濾器→原水箱→反滲透設備→混床(復床)→純水箱→純水泵→后置精密過濾器→用水點。

3采用反滲透水處理設備與電去離子(EDI)設備進行搭配的方式,這是一種制取超純水的新工藝,也是一種環保,經濟,發展潛力巨大的超純水制備工藝,其基本工藝流程為:原水→沙炭過濾器→精密過濾器→原水箱→反滲透設備→電去離子(EDI)→純水箱→純水泵→后置精密過濾器→用水點。

技術特點

1一種采用離子交換樹脂其優點在于初投資少,占用的地方少,但缺點就是需要經常進行離子再生,耗費大量酸堿,而且對環境有一定的破壞。

2第二種采用反滲透作為預處理再配上離子交換設備,其特點為初投次比采用離子交換樹脂方式要高,但離子設備再生周期相對要長,耗費的酸堿比單純采用離子樹脂的方式要少很多。但對環境還是有一定的破壞性。

3第三種采用反滲透作預處理再配上電去離子(EDI)裝置,這是目前制取超純水經濟,環保用來制取超純水的工藝,不需要用酸堿進行再生便可連續制取超純水,對環境沒什么破壞性。其缺點在于初投資相對以上兩種方式過于昂貴。

應用場合

1、半導體材料、器件、印刷電路板和集成電路;2、超純材料和超純化學試劑;3、實驗室和中試車間4、汽車、家電表面拋光處理;5、其他高科技精微產品。

電子工業超純水處理設備工藝及使用注意事項



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